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数字显微镜
MTM-3020MA金相显微镜
 
       
产品简介 金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
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产品介绍:
MTM-3020MA金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

特点:
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
技术规格参数:
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            型号
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            MTM-3020MA
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            工作台
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            金属台尺寸(mm)
              |  
           
            
            500 x 330
              |  
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            玻璃台尺寸(mm)
              |  
           
            
            350 x 250
              |  
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            X、Y轴运动行程(mm)
              |  
           
            
            300 x 200
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            手动Z轴行程(mm)
              |  
           
            
            120
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            自动Z轴行程(mm)
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            2
              |  
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            外形尺寸(mm)
              |  
           
            
            825 x 660 x 910
              |  
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            仪器重量(kg)
              |  
           
            
            130
              |  
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            X、Y、Z轴分辨力(μm)
              |  
           
            
            0.5
              |  
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            自动Z轴分辨力(μm)
              |  
           
            
            0.1
              |  
         ||||
|  
            
            示值误差(μm)
              |  
            E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度,单位mm)  |  
         ||||
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            物镜放大倍数误差
              |  
           
            
            包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
              |  
         ||||
|  
            
            落射照明光源
              |  
           
            
            可调高亮度卤素灯
              |  
         ||||
|  
            
            底光照明光源
              |  
           
            
            可调高亮度LED灯源
              |  
         ||||
|  
            |  
           
            
            目视系统
              |  
           
            
            影像系统
              |  
         |||
|  
            
            物镜放大倍数
              |  
           
            
            5X、10X、20X、50X
              |  
           
            
            5X、10X、20X、50X;10X Mirau物镜
              |  
         |||
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            目镜放大倍数
              |  
           
            
            10X双镜筒
              |  
           
            
            1/2”CCD摄像机
              |  
         |||
|  
            
            视频总倍率
              |  
           
            
            50X ~500X
              |  
           
            
            142.5X ~1425X (19.5”显示器,分辨率1440 x 900)
              |  
         |||
|  
            
            单层透明膜厚度测量模组
              |  
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|  
            
            高精度测量模式
              |  
           
            
            快速测量模式
              |  
         ||||
|  
            
            厚度测量范围
              |  
           
            
            100nm ~300nm
              |  
           
            
            300nm ~500nm
              |  
           
            
            500nm ~3μm
              |  
           
            
            3μm ~20μm
              |  
         |
|  
            
            分辨力
              |  
           
            
            5nm
              |  
           
            
            5nm
              |  
           
            
            7.5nm
              |  
           
            
            0.1μm
              |  
         |


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